1254 Разработка программного обеспечения для оптимизации процесса электронной литографии фотонных интегральных схем

Гольцман Григорий Наумович

руководитель проекта

Старт

29.09.2022

Представление

22.10.2022

Постерная сессия

23.01.2023

Защита

21.04.2023

Паспорт проекта

Аннотация

Проект предполагает модернизацию программного обеспечения конвертации файлов .gdx/.dxf в формат .con, реализованного в программном обеспечении KLayout и Python. Подобный формат необходим для передачи команд перемещения интерферометрического столика и положения электронного пучка в системе электронной литографии. На первом этапе планируется изучение архитектуры имеющегося программного обеспечения с целью разработки плана работ на будущие этапы. На втором этапе будет проводится модернизация...

Отрасль

Информатика

Цель

Совершенствование имеющегося программного обеспечения конвертации .gds/.dxf файлов в .con формат для оптимизации процесса электронной литографии фотонных интегральных схем

Ожидаемые результаты

В ходе выполнения проекта должно быть разработано техническое задание (ТЗ) на проект, содержащее следующие ожидаемые научно-технические результаты по теме проекта:
- архитектура программного обеспечения конвертации файлов .gdx/.dxf в формат .con, реализованного в программном обеспечении KLayout и Python
- модуль конвертации файла с большим количеством доз
- модуль оптимизации перемещения интерферометрического столика электронного литографа

Форма и способы промежуточного контроля

Для выполнения проекта установлены 3 этапа работы (подготовительный, основной. заключительный), заканчивающиеся промежуточным контролем: представление проекта (конец октября учебного года); постерная зимняя сессия (конец января учебного года); защита проекта (конец апреля учебного года)

Форма представления результатов

Отчет по аналитическому обзору научно-технической информации; Пояснительная записка (ПЗ) по обоснованию уточнения целей и исходных требований Проектная документация по решению научно-технических задач по теме проекта Публикация тезисов доклада на конференции Презентация

Ресурсное обеспечение

Количество исполнителей проекта - участие в выполнении проекта не менее 2 студентов; Компьютер с установленными программами KLayout и Python; Электронный литограф.